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激光技術在電子領域的新革命


    电子元器件产业是电子工业的支撑产业 ,是电子工业发展的基础。它们是组成电子设备的基本单元 ,属电子工业的中间产品。元器件产业发展的快慢、元器件的技术水平和生产规模 ,不仅直接影响整个电子工业的发展 ,而且对发展信息技术 ,改造传统产业 ,提高现代化技术装备水平 ,促进社会科技进步都具有重要意义。 
  過去的數年時間內 ,激光已經在微電子加工方面展示了其自身特有的優勢。隨著電子元器件向微型化和密度化發展 ,激光加工也將在這一行業得到越來越多的應用。
  原理:激光微調是利用激光可聚焦成很小的光斑 ,能量集中 ,有選擇的氣化部分材料來制造微電子元器件的一種方法。
  特點:用激光對電阻、電容進行精密微調 ,加工時對鄰近的元器件熱影響極小 ,不産生汙染 ;宜于計算機控制 ,加工速度快、效率高 ,可連續監控 ;與常規微調方法相比 ,還具有精度高、在線性好和阻值不隨時間變化等優點。
  激光微調消除了影響各種集成電路精度的種種限制。激光光束能精確的定向、定位在最小的尺寸區域內 ,並以規定的形式結合小的熱作用區 ,可對薄膜元件進行精密單件微調。加工中沒有中間(化學)過程並可在大氣中作業 ,可實時檢驗結果 ,並實現激光加工過程的自動化。

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